UV光氧除尘器大部分由低温等离子设备和光氧设备这两部分组成，再通过填料塔，对要反应的废弃进行催化。UV光氧除尘器的关键技术在于，发生柜能否正常进行净化废气，工作原理之一是这个UV光氧除尘器通过光氧催化设备分解废弃分子。

UV光氧除尘器在使用前，要进行前期相关的处理。在UV光氧除尘器内，双波段紫外线通过与废气中的TiO2相结合，达到除去类似于VOC 这种挥发性物。

对于大范围不同浓度，不同状态的气体，VU光氧除尘器都有很大的适应性，并且能够二十四小时全天运行， 稳定性高。在运行的过程中，UV光氧除尘器不需要专人管理和维护，这在日常运行过程中降低了维护的费用，而且无噪音打扰，的安静除尘。

UV光氧除尘器体积小，在工作时对场地的要求较低，比较适用于面积较小，场地狭小等条件下的环境。